Partikül Sayım Cihazları (Cleanroom Particle Counter): ISO 14644 Temiz Oda Sınıflandırma Standartları
ISO 14644-1 temiz oda partikül sayım metotları: Optik lazer partikül sayıcılar, 0.5 µm ve 5.0 µm partikül konsantrasyonu, Class 5, 7, 8 sınıfları ve numune alma noktası hesabı.